■技術・製品の概要

　半導体をはじめ、鉄鋼、化学、食品等、多様な分野の生産ラインで、加熱工程は重要な役割を果たしており、被加熱体を均等かつ高速に加熱することが求められている。

　今回紹介する均熱技術は、コンピュータによる解析技術（ CAE ）を基盤にして、被加熱体の温度分布を解析し、所定の温度場になるよう諸元、発熱量等を求め、均等かつ高速に加熱する装置（例、多段式加熱炉、ヒータブロック）を提供するものである。また、この熱解析技術を活かして、様々な熱に関するコンサルテーションや熱機器の受託設計なども行う。

■技術・製品の機能及び特徴

　熱解析の手法は有限要素法（ FEM ）により、最適なヒータ配置等を可能にする。

《応用事例》

�@多段式加熱炉・・・ 90 枚のワークを同時に、 300 ± 5 ℃（従来、 300 ± 10 ℃）で加熱することができるように

　なり、不良率が 3.5 ％から 0 ％に改善された

�Aヒータブロック・・・最高使用温度 800 ℃。 200 × 200mm のブロックにおいて、均熱スペース 190 × 190mm 、温度分布精度 300 ± 1 ℃

　（従来、 150 × 150mm 、 300 ± 15 ℃）を実現した

■効果

�@加熱効率の向上による省エネの実現

�A加熱ムラの改善による歩留向上

【従来】 表面温度が低く、表面に温度差がある 【ＦＥＭ】 表面温度が高く、幅広い均熱面がある 図 1 ． ＦＥＭによる熱解析

図２．多段式熱熱炉 図３．ヒータブロック

■知的所有権

特願平 09-312469 　ブロック状構造体における構造体表面の均等熱分布化構造

特願平 09-312461 　ブロックヒータ

特願平 07-166808 　ブロックヒータ

特開 2005-352306 　加熱装置

特開 2005-055152 　加熱装置

特開 2004-151135 　クリーンオーブン